超音波応用機(jī)器 設(shè)計(jì)?製造?販売 富士工業(yè)株式會(huì)社

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多成分濃度計(jì)(専用機(jī)用)


多成分濃度計(jì)(専用)

FUD-1 Model-53

製品の概要
メンテナンス性や高精度インライン計(jì)測(cè)などのFUD-1 Model-53のメリットはそのままに、半導(dǎo)體製造プロセス用として小型セル型発信器を特長(zhǎng)としたモデルとなります。




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構(gòu)成図

FUD-1 Model-53 導(dǎo)電率計(jì)內(nèi)蔵型
多成分濃度計(jì)(専用)

多成分濃度計(jì)の特長(zhǎng)

リアルタイムに3成分中の2成分濃度計(jì)側(cè)が可能

  • アナログDC4~20mA(2系統(tǒng))及びデジタルRS232Cを標(biāo)準(zhǔn)裝備
  • 計(jì)測(cè)エラー出力?警報(bào)出力を標(biāo)準(zhǔn)裝備
  • 自己診斷機(jī)能?エラーメッセージ表示を標(biāo)準(zhǔn)裝備
  • 小型?軽量セル型発信器はラインにダイレクト設(shè)置が可能
  • PFAを採(cǎi)用した接液部材質(zhì)、小出力設(shè)計(jì)で薬液への影響が無い

メリット

  • 高精度での連続計(jì)測(cè)が可能
  • 定期的な調(diào)整?校正が不要でメンテナンスフリー
  • 設(shè)置時(shí)の各種調(diào)整等が不要で設(shè)置も容易
  • リアルタイム出力による工程へのフィードバックも容易

用途

  • CMP工程におけるCMPスラリー及び酸化剤濃度管理など
  • 洗浄工程における洗浄液濃度管理など(HF+HNO3?HF+H2SiF6など)
  • エッチング工程におけるエッチング液濃度管理など(TMAH+レジスト?TMAH+Siなど)



仕様

型式 FUD-1 Model-53
 変換器
測(cè)定パラメータ超音波伝播速度?溫度?導(dǎo)電率
表示 LCD(濃度1?濃度2?溫度?音速?導(dǎo)電率/各種パラメータ)
出力信號(hào) アナログ DC4~20mA:2系統(tǒng)(濃度値に対し自由に設(shè)定可)
デジタル RS232C(濃度1?濃度2?音速?溫度?導(dǎo)電率?エラーコード)
警報(bào) 上?下限 計(jì)測(cè)異常:2系統(tǒng)
電源 AC100V~240V 50/60Hz両用 30VA (DC24Vも使用可能)
構(gòu)造 パネルマウント型(DIN規(guī)格準(zhǔn)拠)
環(huán)境溫度  変換器 0~50℃
RH85%以下(結(jié)露ないこと)
機(jī)能 出力範(fàn)囲設(shè)定機(jī)能、警報(bào)出力設(shè)定機(jī)能、濃度表示移動(dòng)平均機(jī)能、濃度表示オフセット及びゲイン設(shè)定機(jī)能、自己診斷機(jī)能、フェールセーフ機(jī)能、異常値キャンセル機(jī)能、溫度時(shí)定數(shù)補(bǔ)正
オプション 溫度出力(DC4~20mA)
RS485出力(RS232Cとの同時(shí)出力不可)
チャンネル(検量線) 最大7ch
適合発信器例 SA-20S29+導(dǎo)電率計(jì)、SA-20S27+導(dǎo)電率計(jì)


 型式 発信器
SA-20S29+導(dǎo)電率計(jì)
SA-20S27+導(dǎo)電率計(jì)
 振動(dòng)素子 PZT(2MHz)x1PZT(2MHz)x2
 測(cè)定素子 サーミスタサーミスタ
 測(cè)定液溫度 0~100℃ 0~80℃
 構(gòu)造 フローセル フローセル
 接液部材質(zhì) PFA/PFAコーティング PFA
 継ぎ手 3/4フィッティング(変更可) 3/4フィッティング(変更可)
 耐圧 0.3MPa 0.3MPa
 流量 5l/min(推奨)  5l/min(推奨)
 重量 2.5kg 2.5kg
 ケーブル 専用ケーブル6m 専用ケーブル6m
 環(huán)境溫度 5~45℃  5~45℃

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